作為OLED面板的核心設備，在過去的十幾年里，被蘋果欽點的佳能Tokki蒸鍍機是國內面板廠商求而不得的“寶貝”。近年來韓國廠商投資OLED減緩，京東方、維信諾等面板廠商才陸續采購到。

國內廠商合肥欣奕華、合肥萊德表示，OLED蒸鍍機設備將于今年內推向市場。那么，國產OLED蒸鍍機的問世，能否成為解決國內面板廠商心病的“特效藥”呢?

日韓占據優勢地位

如今，OLED面板主要供貨商集中在韓國，三星顯示和LGD分別在中小尺寸和大尺寸面板中占據優勢地位。最主要的原因就是其掌握了OLED面板制造的關鍵設備——真空蒸鍍機，尤其是日本佳能Tokki高端真空蒸鍍機一度曾是三星顯示的獨家供應商。蘋果公司曾宣布，蘋果不會接受沒有佳能Tokki蒸鍍機的OLED面板廠商為其供貨。也就是說，面板廠商如果手上沒有佳能Tokki蒸鍍機，連“打入”蘋果OLED供應鏈的門票都沒有了。于是，這個極其神秘的公司暴露在公眾面前。

據悉，目前，G6世代蒸鍍設備幾乎被日本佳能Tokki壟斷，其市占率已超過90%。然而，佳能Tokki的產能很有限。2017年，佳能Tokki一年僅能生產9臺蒸鍍機，三星顯示和LGD的產線增建導致OLED蒸鍍設備幾乎被買斷，可謂“一機難求”。直到佳能Tokki擴產，以及韓國面板企業也放慢了OLED生產線的投資步伐，京東方、維信諾、深天馬、信利等面板廠商才陸續采購到OLED蒸鍍機。截至2018年底，京東方成都6代線的綜合良品率達到70%;2019年11月，維信諾昆山5.5代線綜合良率達到90%。預計到2021年，國內面板廠商生產剛性和柔性OLED面板才能與三星顯示良品率基本持平。

隨著智能手機和穿戴設備等電子產品需求量日益提升，帶動了作為新技術應用的OLED屏的出貨量爆發式增長，目前OLED屏幕已經成為高端智能手機產品的標準配置。根據IHS數據，2019年全球OLED顯示面板出貨量已經突破7億片，預計到2022年，全球OLED顯示面板出貨量將突破9億片，越來越多的面板廠商加入到OLED陣營中來。

“如今，OLED蒸鍍設備市場仍處于供不應求的狀態，尤其是國內面板廠商對于高端蒸鍍機的需求一直難以得到滿足�！比R德裝備創始人兼董事長孔令杰說。

據悉，目前國內OLED面板產線共22條，而按照常規的配置，一條6代線需要3～4臺蒸鍍設備。但是由于佳能Tokki產量不足，許多面板廠商迫于市場產能指標壓力，紛紛選擇其他真空蒸鍍設備供應商。值得一提的是，蒸鍍設備除了實力最強的佳能Tokki外，YAS、SNU、SNF 等企業皆來自日韓。而我國合肥欣奕華、合肥萊德、中山凱旋真空科技等企業也在瞄準OLED蒸鍍設備市場。

水木資本執行董事魯飛表示，OLED蒸鍍技術幾乎掌握在日、韓企業手里，這也是導致我國OLED產業大而不強的原因之一。在國家大力鼓勵科學創新、支持科技企業進行技術突破的大環境下，高端裝備的發展是必然的。

“特效藥”應多予以“臨床測試”

近日，國內廠商合肥欣奕華宣布其G2蒸鍍設備樣機完成了進一步調試工作;去年11月，合肥萊德也宣布攻克了OLED蒸鍍機技術。兩家企業都表示設備將于今年內推向市場。

OLED蒸鍍機是OLED面板的“心臟”，蘋果、華為、三星、OPPO等廠商的旗艦手機的顯示屏幕都與其有關系。隨著國內OLED產線的持續加碼，高端蒸鍍設備是否能得到穩定供應已成為各大面板廠商的一塊心病。

那么，國產OLED蒸鍍機的逐漸問世，能否解決國內面板廠商的心病呢?

OLED在生產工藝環節需要前、中、后三道工藝。其中，對應的三大核心工藝技術分別為LTPS驅動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝。OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進而影響產能的關鍵。所以，蒸鍍機直接決定OLED產品性能，對技術要求較高，其最大難點在于加熱源蒸鍍的穩定性、對位系統的高精度性和重復性、腔體的真空和潔凈性能等。

佳能Tokki OLED蒸鍍機被人提及最多的就是精度，把OLED有機發光材料精準地蒸鍍到基板上，佳能Tokki可以把誤差控制在3μm之內。對此賽迪智庫高級分析師劉暾介紹說，設備如果良品率不高的話，會影響整條生產線的運作�！皣�外廠商設備配套多年，應用相對成熟”。目前建一條OLED產線動輒投資幾百億元，而上游設備在OLED的整個產業鏈中占據的成本最大，約占OLED生產線成本的80%左右，其中蒸鍍設備投入占比達35%。以佳能Tokki為例，一臺售價已達1.4億美元。所以，國內廠商在選擇設備時萬分謹慎。

欣奕華智能機器事業群OLED事業本部負責人曹景博在接受《中國電子報》記者采訪時透露：“目前，欣奕華的蒸鍍整機設備已經能滿足在小尺寸OLED面板上的使用，其對位系統(包含G6H、G2.5、G1)的對位精度已達到國際先進水平，部分機型甚至做到了國際領先，對位精度可控制在1.5um以內。但是，產品的穩定性和技術的成熟度以及產品的細節上，還需要進一步打磨，接受市場更多的考驗�！�

劉暾表示，國產蒸鍍設備的問世是值得稱贊的，證明我們已經完成了從0到1的創造過程。但一種精密設備的使用需要不斷調試和升級，OLED蒸鍍機從生產、導入到成熟的周期是非常長的。他建議，國產蒸鍍設備可以先導入到中試線、高校、科研院所以及OLED材料廠商等。

CINNO Research顯示行業首席分析師周華在接受《中國電子報》記者采訪時則表示，國內蒸鍍設備尚處于初級起步階段，更多可能是用在實驗室設備市場。

早在兩年前，欣奕華科技集團總經理兼人工智能事業群CEO張彌便透露過，欣奕華OLED蒸鍍機已被兩家研發機構和一家材料廠購買，用于研發測試。

“蒸鍍機與材料不同，它是一個長期的、穩定的存在。面板企業與蒸鍍機企業需要共同完善生產環節和工藝流程。甚至在廠房設計之初，就已將蒸鍍機考慮進去。所以，國產蒸鍍機要打入高世代OLED產線，不僅要長時間積累，升級技術，同時也要與面板廠商共同研發、磨合，未來還有很多路要走�！辟惖现菐旒�成電路所耿怡博士在接受采訪時強調。

“能買到有量產經驗廠商的設備當然不錯，但如果買不到，憑借企業多年的技術積累，對原理比較了解，加上多年的中試和量產實踐，面板廠商也可以和設備廠商一起努力，最終調試出適合自己的設備，這樣生產出來的產品反而更有競爭力。”維信諾科技有限公司總裁張德強說。

周華認為，國產設備的當務之急除了加大研發投入外，應盡快將設備送入面板量產線，在實際生產過程中積累經驗，持續迭代升級。唯有研發生產、制造銷售、流片反饋、技術迭代這個閉環順利轉動起來，國產核心裝備才有成功的可能。

曹景博對于國產OLED蒸鍍設備的發展有著自己的想法：佳能Tokki憑借20年的研發和實踐經驗，以穩定的量產性能和成熟的技術優勢獨占鰲頭。短期內合肥欣奕華還不能與其比肩。但是，我們可以專注于小尺寸的蒸鍍機市場研發和大尺寸蒸鍍機核心部件技術的推廣應用，打磨自己的技術，做好技術儲備，以備不時之需。